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| 研究生： |
林竣嘉 Lin, Chun-Chia |
|---|---|
| 論文名稱： |
以霧化化學氣相沉積法於藍寶石及鐵摻雜β氧化鎵基板上製備錫δ摻雜氧化鎵金氧半場效電晶體之研究 Investigation of Sn δ-Doped Ga2O3 MOSFETs on Sapphire and Fe-Doped β-Ga2O3 Substrates Utilizing Mist Chemical Vapor Deposition |
| 指導教授： |
許渭州
Hsu, Wei-Chou |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 微電子工程研究所 Institute of Microelectronics Engineering |
| 論文出版年： | 2026 |
| 畢業學年度： | 114 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 87 |
| 相關次數： | 點閱：22 下載：0 |
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2031-07-17公開