濕式清洗檯發生事故之比率居科技業半導體事故之冠，因此保險公司皆會依據國際規範建議設置二氧化碳滅火系統，以避免發生火災時災情的擴大，但設備誤放射事件頻傳，故探討此設備失效模式及發生原因。FMEA為常用之設備可靠度管理方式，選用此風險評估以期能發現相關問題，及早進行因應及改善。

本研究由重大事故及保險公司統計之事故，說明設置二氧化碳滅火系統之原因，並介紹此系統之相關元件及系統圖，說明FMEA使用方法，再利用FMEA表格分析相關風險，並提出難檢度、嚴重度及發生率計算風險優先指數，提出優先改善元件的次序。

依據FMEA工作小組在安全管理考量下，提出有效可行之具體改善措施，於改善後再進行一次風險評估時，確定將潛在失效模式已為可接受之風險程度，將系統失效率降低並提升人員對該系統之了解，後續誤放射事件發生率可望能夠降低，對生產及機台運作上，將能夠有效改善及預防相關火災風險。

The accident rate of Wet Bench is the highest in the semiconductor accident of technology. For this reason, the insurance companies all accord with the international norm to suggest setting a Carbon Dioxide Fire Extinguishing System, in order to avoid expanding the effect of a fire. However, this system occurred the accidents of faulty radiation frequently. Therefore, this study explores the failure mode and the cause of this system. FMEA is a commonly equipment reliability management. Choosing this risk assessment to find out the correlation problem, so as to response and improve in advance.

The data of this study was funded by a major accident and the statistics by insurance company. To illustrate the reasons of setting Carbon Dioxide Fire Extinguishing System and introduce the correlation data and system chart. First of all, to explain how to operation the FMEA. Second, utilize the table of FMEA to analyze the correlation risk, and propose the detection, severity and incidence to calculate the Risk Priority Number (RPN). Then recommend the priority order of component improvement.

Based on the consideration of safety management, the FMEA working group proposes the specific improvement measures which is effective and feasible. When a risk assment is conducted after the improvements, then make sure the potential Failure Mode has been acceptable on risk extent. So that it can reduce the system error rate and improve the understanding of the staff on system, and the following incidence of faulty radiation might be reduced expectantly. Also, for the machine production and operation, it will be able to improve and prevent effectively on the risk of fire accidents.

中文
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