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| 研究生： |
陳昀 Chen, Yun |
|---|---|
| 論文名稱： |
氧電漿與快速熱退火處理之HfO2/ Al2O3/ HfO2三層結構電阻式記憶體與頂部電極優化研究 Top Electrode Optimization of HfO2/ Al2O3/ HfO2 Tri-layer RRAM with Oxygen Plasma and RTA Treatments |
| 指導教授： |
蘇炎坤
Su, Yan-Kuin |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 奈米積體電路工程碩士博士學位學程 MS Degree/Ph.D. Program on Nano-Integrated-Circuit Engineering |
| 論文出版年： | 2025 |
| 畢業學年度： | 113 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 112 |
| 相關次數： | 點閱：4 下載：0 |
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校內：2030-08-04公開校外：2030-08-04公開