本研究探討在電子束檢測設備對於真空條件的要求相當高，這需要乾淨的超高真空來執行這些參數，特別是在高發射電流下。其中電子槍對於超高真空的要求更加嚴格，也影響能否穩定發射電子束的重要關鍵，一旦真空環境不穩定的條件下會造成的電子槍失效情況，造成停機。
由於半導體檢測產業的發展快速，對於產品的開發階段在可靠度上著墨較少，造成產品售後問題日益漸增，有鑒於此，本研究選定改善產品可靠度常用工具，失效模式與效應分析可將所有產品可能風險進行完整評估，以達到降低風險項目，提升產品可靠度。
最後透過研究過程，將失效模式與效應分析中風險管理的程序，應用在產品當中，透過成立專案小組對於產品改善執行後的各項風險再進行試驗設計與驗證，並依照試驗結果，提出建議改善措施。最終評等執行後結果，可將所列15項風險評估項目之高風險優先指數從原本的128，改善後可降低至32皆可低於100，為可接受的中低風險優先指數，並提升電子槍產品可靠度，也是本次研究電子槍高風險項目降低的實際效益。

Ultra High Vacuum (UHV) test setup for electron gun testing has been developed. This UHV electron gun test setup can be used to test the electron guns ranging from high average current, quasi-continuous wave to high peak current, single pulse etc. This needs a clean ultra high vacuum to study these parameters particularly at high emission current. [1]. For raise the reliability up, we develop the FMEA to finding the high risk items by project team members evaluated. After the project alignment, the RSP over 100& severity rate was 10, the team will escalate the risk item to plan & implement the test, in order to make sure the root cause. We expect to improve the high risk of escalation by the root cause. In order to reduce the risk items of high RSP rate to under 100. Finally, we got the lists of high risk items what is acceptable by mitigation of FMEA. Make the reliability of electron gun raise up what the benefit we got.

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