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| 研究生： |
蕭尹筑 Hsiao, Yin-Chu |
|---|---|
| 論文名稱： |
以霧化化學氣相沉積法製備異質磊晶錫δ摻雜β型氧化鎵金氧半場效電晶體 Heteroepitaxial growth of Sn δ-doped β-Ga2O3 MOSFET using mist chemical vapor deposition |
| 指導教授： |
許渭州
Hsu, Wei-Chou |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
智慧半導體及永續製造學院 - 半導體製程學位學程 Program on Semiconductor Manufacturing Technology |
| 論文出版年： | 2024 |
| 畢業學年度： | 112 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 80 |
| 相關次數： | 點閱：69 下載：0 |
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2029-07-30公開