面對台灣面板廠商面臨全球顯示器持續成長，帶動次世代面板廠商持續投入在新工廠設備，也讓原本的舊世代工廠需面臨高階製程產品導入與轉型，因此如何提升製程能力及提升舊機台能力就變的非常重要。
本研究提出運用萃智理論的矛盾理論，推論找出解決工廠在高階面板氧化銦錫薄膜製程不良造成的客訴問題，定義製程改善参數與惡化參數，之後再以40項創新原則求解，已達到直流式真空濺鍍最佳化的機台工程參數降低氧化銦錫薄膜破裂不良率，並重複運用萃智理論創新思維提升改造直流式真空濺鍍機台能力，已增加工廠的競爭力。
期望藉由萃智研究方法透過改善氧化銦錫薄膜真空製程能力，協助同樣面臨工廠轉型過程中，有效率縮短製程工程師對應問題時獨立求解能力，能更有效率的決解生產中面臨的工程問題，未來相信以此方法持續進行改善，不管是新產品開發或機台改造都能想出創新方法解決，只有不斷的精進提升能力保持彈性的經營模式，公司才能持續成長。

Taiwan panel manufacturers are now facing the circumstance that the global monitor industry is continuously growing as the driving power to urge the next-generation panel manufacturers to make more investments in the new facilities while the old-generation ones need to face the introduction of high-order product and the transformation of the enterprises. Therefore, it’s getting important to upgrade the manufacturing process and the old equipment.
This study found the solution to customer claims caused by the defective ITO (Indium Tin Oxide) film process in the plant by using the contradiction matrix of TRIZ and also strengthened the manufacturer competitiveness by the following steps. Firstly, it defined the improvement and deterioration parameters, and then found the engineering parameters of the optimal operation of the DC magnetron sputter machine to decrease the defective rate of cracks for ITO (Indium Tin Oxide) film process by applying inventive principles. In the end, the innovative thinking of TRIZ was repeatedly applied to reform and enhance the capability of the DC magnetron sputter machine.
With the relevant research methods of TRIZ to improve the capability of ITO vacuum process, it is expected this study can assist the process engineers dealing with similar problems become independent and quick solution-providers who can solve any engineering problem with which they confront in the manufacturing process. In future, it’s believed no matter it is new product development or equipment renovation, both will be answered by innovative method. Only with the ceaseless upgrading ability to keep flexible business model shall an enterprise keep growing.

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