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| 研究生： |
熊大綱 Hsiung, Ta-Kang |
|---|---|
| 論文名稱： |
應用類神經網路與SECS以建構化學研磨參數預測模型 An Investigation of CMP Parameter Prediction Model using Neural Network and SECS |
| 指導教授： |
呂執中
Lyu, Jr-Jung |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
管理學院 - 工業與資訊管理學系碩士在職專班 Department of Industrial and Information Management (on the job class) |
| 論文出版年： | 2016 |
| 畢業學年度： | 104 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 59 |
| 中文關鍵詞： | 類神經網路 、化學機械研磨 、半導體通訊協定 |
| 外文關鍵詞： | Neural Network, CMP, SECS |
| 相關次數： | 點閱：57 下載：0 |
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校內：2026-05-31公開校外：不公開