中文摘要
本研究藉由質化分析方法(文獻分析法及專家訪談法)以及量化方法(層級分析法，AHP)進行研究探討，主旨在於探討半導體製程的災害管理決策評量，本研究分析分成兩階段進行。
第一階段針對半導體製程的災害來源進行文獻探討與專家訪談分析，以此分析結果，建立「半導體製程的災害管理」的 AHP 分析層級結構。
第二階段則是由半導體的相關專業知識與經驗的實務專家，工作範疇包含：製程、設備、廠務及環安等相關部門工程師，進行評估準則及擬定決策的權重分析，以此結果得以決定半導體製程災害管理中的各個準則與決策的重要性，並產出最適當的災害管理方法。
最後獲得半導體最適當的災害管理方法。期望此研究結果可使災害損失與人員傷害降到最低，亦或是做好災害預防將災害損失降至零。

SUMMARY
This research is based on qualitative analysis methods (literature analysis and expert interviews) and quantitative methods (hierarchical analysis method, AHP). The main purpose of this study is to explore the disaster management decision evaluation of semiconductor process. The research analysis is divided into two stages.
In the first stage, literature review and expert interview analysis were conducted on the disaster sources of semiconductor manufacturing, and the results were analyzed to establish an AHP analysis hierarchy of “disaster management of semiconductor processes”.
The second stage is a practical expert who knows and experiences relevant experts in semiconductors. The scope of work includes: engineers in the process, equipment, factory and environmental protection departments, and the weight analysis of the evaluation criteria and the proposed decision. The importance of standards and decision making for disaster management and the most appropriate disaster management approach.
Finally, the most appropriate disaster management method for semiconductors is obtained. It is expected that the results of this study will minimize disaster losses and personnel injuries, or prevent disasters from reducing disaster losses to zero.

參考文獻
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