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研究生: 陳冠瑜
Chen, Guan-Yu
論文名稱: 使用CMOS異質整合技術製怍壓電式超音波傳感器之初探
Investigation of fabricating pMUT using CMOS-compatible heterogeneous integration technique.
指導教授: 黃致憲
Huang, Chih-Hsien
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 電機資訊學院 - 電機工程學系
Department of Electrical Engineering
論文出版年: 2026
畢業學年度: 115
語文別: 英文
論文頁數: 32
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