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| 研究生： |
陳崇文 Chen, Chong-Wen |
|---|---|
| 論文名稱： |
空間型旋轉式原子層沉積(SRALD)製造高品質的氧化層研究 A study on high quality oxide film by Spatial Rotated Atomic Layer Deposition(SRALD) |
| 指導教授： |
李文熙
Lee, Wen-Hsi |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電機工程學系 Department of Electrical Engineering |
| 論文出版年： | 2022 |
| 畢業學年度： | 110 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 60 |
| 相關次數： | 點閱：63 下載：0 |
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校內：2027-09-26公開校外：2027-09-26公開