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| 研究生： |
陳約翰 Chen, Yueh-Han |
|---|---|
| 論文名稱： |
高壓電性AlN:Mo無鉛材料之開發、機制探討及新型ZnO MEMS壓電加速規之設計與不同場域應用：具高頻寬、高靈敏度、低橫向靈敏度 Development of High Piezoelectric AlN:Mo Lead-free Material, Design of ZnO MEMS Piezoelectric Accelerometer：High Frequency Bandwidth, High Sensitivity, Low Transverse Sensitivity |
| 指導教授： |
朱聖緣
Chu, Sheng-Yuan |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電機工程學系 Department of Electrical Engineering |
| 論文出版年： | 2021 |
| 畢業學年度： | 109 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 94 |
| 相關次數： | 點閱：57 下載：0 |
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校內：2026-08-28公開校外：2026-08-28公開