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| 研究生： |
許方瑜 Hsu, Fang-Yu |
|---|---|
| 論文名稱： |
以霧化化學氣相沉積法製備異質磊晶之多重單晶相錫δ摻雜氧化鎵金氧半場效電晶體 Heteroepitaxial Growth of Multi-Phase Single Crystalline Sn δ-doped Ga2O3 MOSFET using Mist Chemical Vapor Deposition |
| 指導教授： |
許渭州
Hsu, Wei-Chou |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 微電子工程研究所 Institute of Microelectronics |
| 論文出版年： | 2025 |
| 畢業學年度： | 113 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 78 |
| 相關次數： | 點閱：31 下載：0 |
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校內：2030-07-21公開校外：2030-07-21公開