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| 研究生： |
潘資涵 Pan, Tzu-Han |
|---|---|
| 論文名稱： |
高熵合金於Cu-Si互連製程之擴散阻擋層研究 Diffusion barrier performance of high-entropy alloy films for Cu-Si interconnect processess |
| 指導教授： |
施權峰
Shih, Chuan-Feng |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電機工程學系 Department of Electrical Engineering |
| 論文出版年： | 2025 |
| 畢業學年度： | 113 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 161 |
| 相關次數： | 點閱：11 下載：0 |
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校內：2030-08-26公開校外：2030-08-26公開