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| 研究生： |
陳昱璇 Chen, Yu-Hsuan |
|---|---|
| 論文名稱： |
利用超臨界流體氮化技術改善具p型鋰摻雜氧化鎳閘極之三閘極階梯式蝕刻增強型氮化銦鋁鎵／氮化鎵高電子遷移率電晶體 Enhancement-Mode InAlGaN/GaN HEMTs with p-Type Li-Doped NiO Gate and Tri-Gate Stair-Shaped Recess Structure Improved by Supercritical Fluid Nitridation |
| 指導教授： |
許渭州
Hsu, Wei-Chou |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 微電子工程研究所 Institute of Microelectronics |
| 論文出版年： | 2026 |
| 畢業學年度： | 114 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 84 |
| 相關次數： | 點閱：5 下載：0 |
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