隨著半導體產業製程持續微縮與擴產速度加快，廠務系統裝機工程對交期穩定性與供應鏈管理之要求日益提高。其中，UPW（Ultra Pure Water，超純水）系統為半導體製程關鍵基礎設施之一，其裝機工程材料多具進口依賴、高標準規格與長交期特性，使材料備料策略成為影響工程準時完工與成本控制之重要決策議題。
本研究以A公司於UPW裝機工程中之實務經驗為案例，旨在探討UPW裝機工程中「庫存備料（Make to Stock, MTS）」與「訂單備料（Make to Order, MTO）」兩種材料備料策略之相對適切性。研究方法採用層級分析法（Analytic Hierarchy Process, AHP），架構內容包含「交期穩定性」、「庫存與總成本」、「供應鏈風險與彈性」以及「工程執行與管理效率」四項準則層，並細分為十二項次準則指標。透過15位具半導體廠務與工程管理實務經驗之專家問卷進行成對比較分析，並經一致性檢定確認其判斷合理性。
研究結果顯示，交期穩定性為最重要之評估構面，其權重明顯高於成本考量；在方案層整體權重整合結果中，庫存備料策略（MTS）之總權重高於訂單備料策略（MTO），顯示在高不確定與高時效工程環境下，專家認為MTS在多準則權衡下較佳。研究亦指出，A公司承攬之UPW裝機工程宜採分類管理與混合式備料策略，以兼顧交期與成本控制。
本研究將工程實務經驗轉化為可量化分析之多準則決策架構，提供UPW裝機工程材料管理策略之決策依據，並為A公司承攬之半導體廠務系統備料策略之優化提供參考。

As semiconductor manufacturing technology continues to advance and capacity expansion accelerates, the demand for schedule reliability and supply chain stability in facility installation projects has significantly increased. Among various facility systems, the Ultra Pure Water (UPW) system plays a critical role in semiconductor fabrication. Due to long lead times, strict specifications, and high reliance on imported materials, material preparation strategy has become a key factor influencing project schedule performance and cost control in UPW installation projects.
This study aims to evaluate the relative suitability of two material preparation strategies-Make to Stock (MTS) and Make to Order (MTO)-within the context of UPW installation engineering. The Analytic Hierarchy Process (AHP) was adopted to construct a multi-criteria decision-making framework consisting of four main criteria: schedule stability, inventory and total cost, supply chain risk and flexibility, and project execution efficiency. These criteria were further divided into twelve sub-criteria indicators. Data were collected from 15 industry experts with experience in semiconductor facility engineering and supply chain management. Pairwise comparisons were conducted, and consistency tests were performed to ensure reliability.
The results indicate that schedule stability is the most critical criterion, outweighing cost considerations. The integrated overall weights show that the MTS strategy outperforms the MTO strategy in the UPW installation context. The findings suggest that in environments characterized by high uncertainty and strict schedule constraints, the benefits of improved schedule reliability and reduced supply risk provided by MTS outweigh its increased inventory holding costs. This study further recommends adopting a classified and hybrid material preparation strategy to balance schedule assurance and cost efficiency.
By transforming practical engineering experience into a structured and quantifiable decision framework, this research provides managerial implications for material management optimization in UPW installation projects and semiconductor facility systems.

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