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| 研究生： |
黃騰毅 Huang, Teng-Yi |
|---|---|
| 論文名稱： |
NbMoTaW 高熵合金應用在矽基金屬-氧化物-半導體電容器及擴散阻障層 NbMoTaW high-entropy alloy used in silicon-based metal-oxide-semiconductor capacitors and diffusion barriers |
| 指導教授： |
施權峰
Shih, Chuan-Feng |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電機工程學系 Department of Electrical Engineering |
| 論文出版年： | 2021 |
| 畢業學年度： | 109 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 128 |
| 相關次數： | 點閱：91 下載：0 |
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校內：2026-09-03公開校外：2026-09-03公開