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| 研究生： |
林鈺淇 Lin, Yu-Chi |
|---|---|
| 論文名稱： |
晶邊幾何對碳化矽基板高速磊晶旋轉中晶邊接觸行為之影響 Effect of Edge Geometry on Edge Contact Behavior of Silicon Carbide Substrates during High-Speed Epitaxial Rotation |
| 指導教授： |
林育芸
Lin, Yu-Yun |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 土木工程學系 Department of Civil Engineering |
| 論文出版年： | 2026 |
| 畢業學年度： | 114 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 80 |
| 相關次數： | 點閱：4 下載：0 |
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