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| 研究生： |
許凱詅 Hsu, Kai-Ling |
|---|---|
| 論文名稱： |
AlN界面層及頂電極對於Y摻雜HfO2薄膜微結構和鐵電特性的影響及FeFET結構應用於SRAM電路分析 The Effects of AlN Interface Layer and Top Electrodes on the Microstructure and Ferroelectric Properties of Y-doped HfO2 Films and Circuit Analysis of FeFET-Based SRAM |
| 指導教授： |
朱聖緣
Chu, Sheng-Yuan |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電機工程學系 Department of Electrical Engineering |
| 論文出版年： | 2026 |
| 畢業學年度： | 114 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 112 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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