| 研究生: |
江紀謙 Jiang, Ji-Qian |
|---|---|
| 論文名稱: |
高熵高介電常數(Zr,Al,Si,Nb,Sn)OX閘極介電層應用於ZnSnO底閘極鰭式薄膜電晶體之開發與特性研究 Development of ZnSnO-Based Bottom-Gate Fin Thin-Film Transistors Using High-Entropy High-k (Zr,Al,Si,Nb,Sn)OX Gate Dielectrics |
| 指導教授: |
張高碩
Chang, Kao-Shuo |
| 學位類別: |
碩士 Master |
| 系所名稱: |
工學院 - 材料科學及工程學系 Department of Materials Science and Engineering |
| 論文出版年: | 2026 |
| 畢業學年度: | 114 |
| 語文別: | 英文 |
| 論文頁數: | 91 |
| 相關次數: | 點閱:38 下載:0 |
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