發光二極體磊晶廠之製程機台大多為電力電子設備，由於此非線性負載的設置，因此使得廠區電力系統中，存有大量的諧波，而諧波的存在會導致相關精密設備之動作異常及損害。前述磊晶生產設備之諧波源，若以被動式濾波器吸收所產生之諧波，其效果有限，故以主動式濾波器消除諧波為最佳選擇。因考量最佳成本及效益，以穩定供電系統及減少生產異常中斷為主要前提。本文主要目的在於分析發光二極體磊晶廠電力系統中常見之主要諧波源，實際測量出主要機台總諧波電流含量達25%~45%，分析諧波對系統設備之損壞，進而提出適當之對策，以抑制及消除諧波方式，改善至符合廠內規定之總電流諧波12%以下。

Most of the light-emitting diode Manufacturing plant process machine to power electronic devices, due to this non-linear load settings, thus making the plant power system, there are a large number of harmonics, the presence of harmonics cause precision equipmentof movement disorders and damage. Harmonic source, the aforementioned epitaxial production equipment the passive filter absorption arising harmonic, its effect is limited, so the active filter to eliminate harmonics is the best choice. Consider the best cost-effective, stable power supply systems and reduce production abort as the major premise. The main purpose of this paper is commonly used in the analysis of the light-emitting diode Manufacturing plant power system harmonic source, the actual measured main machine Total harmonic current content of 25% to 45%, analysis of the amount of harmonics of power equipment has been damage, it also suggests appropriate countermeasures, the factory prescribed total current harmonic barrier and eliminate harmonic way, improving to 12%

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