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| 研究生： |
黃渟詒 Huang, Ting-Yi |
|---|---|
| 論文名稱： |
低溫操作下臭氧與氨電漿處理的界面層對鍺鰭式場效電晶體元件之性能探討 Performance investigation of Ge FinFET Devices with interface layer treatment by Ozone and Ammonia Plasma working at cryogenic temperature |
| 指導教授： |
高國興
Kao, Kuo-Hsing |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 奈米積體電路工程碩士博士學位學程 MS Degree/Ph.D. Program on Nano-Integrated-Circuit Engineering |
| 論文出版年： | 2023 |
| 畢業學年度： | 111 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 78 |
| 相關次數： | 點閱：40 下載：0 |
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校內：2028-07-27公開校外：2028-07-27公開