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| 研究生： |
李浩任 Lee, Hao-Jen |
|---|---|
| 論文名稱： |
改善鐘擺閥在氧化鋁蝕刻停止層製程的使用壽命 Improving the Lifetime of Pendulum Valve in the Aluminum Oxide Etching Stop Layer Process |
| 指導教授： |
周榮華
Chou, Jung-Hua |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 工程科學系碩士在職專班 Department of Engineering Science (on the job class) |
| 論文出版年： | 2022 |
| 畢業學年度： | 110 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 56 |
| 相關次數： | 點閱：67 下載：0 |
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校內：2027-06-30公開校外：2027-06-30公開