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研究生: 李浩任
Lee, Hao-Jen
論文名稱: 改善鐘擺閥在氧化鋁蝕刻停止層製程的使用壽命
Improving the Lifetime of Pendulum Valve in the Aluminum Oxide Etching Stop Layer Process
指導教授: 周榮華
Chou, Jung-Hua
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 工學院 - 工程科學系碩士在職專班
Department of Engineering Science (on the job class)
論文出版年: 2022
畢業學年度: 110
語文別: 英文
論文頁數: 56
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    校外:2027-06-30公開
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