研究生: |
李浩任 Lee, Hao-Jen |
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論文名稱: |
改善鐘擺閥在氧化鋁蝕刻停止層製程的使用壽命 Improving the Lifetime of Pendulum Valve in the Aluminum Oxide Etching Stop Layer Process |
指導教授: |
周榮華
Chou, Jung-Hua |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
工學院 - 工程科學系碩士在職專班 Department of Engineering Science (on the job class) |
論文出版年: | 2022 |
畢業學年度: | 110 |
語文別: | 英文 |
論文頁數: | 56 |
相關次數: | 點閱:55 下載:0 |
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