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| 研究生： |
李浤閔 Lee, Hong-Min |
|---|---|
| 論文名稱： |
利用原子層沉積氧化鋯種子層實作鐵電獨立雙閘極鰭式電晶體之新穎製程 Novel Process Flow for Ferroelectric Independent-Double-Gate FinFET with Atomic Layer Deposited Zirconium Oxide Seed Layer |
| 指導教授： |
盧達生
Lu, Darsen |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 奈米積體電路工程碩士博士學位學程 MS Degree/Ph.D. Program on Nano-Integrated-Circuit Engineering |
| 論文出版年： | 2025 |
| 畢業學年度： | 113 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 75 |
| 相關次數： | 點閱：13 下載：0 |
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校內：2030-06-29公開校外：2030-06-29公開