簡易檢索 / 詳目顯示
| 研究生： |
陳冠甫 Chen, Guan-Fu |
|---|---|
| 論文名稱： |
高壓退火處理應用於高介電氧化鉿薄膜特性之影響 Application of High Pressure Annealing to the Characteristics of High-k HfO2 Thin Films |
| 指導教授： |
李文熙
Lee, Wen-Hsi |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 微電子工程研究所 Institute of Microelectronics |
| 論文出版年： | 2023 |
| 畢業學年度： | 111 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 79 |
| 相關次數： | 點閱：43 下載：0 |
| 分享至: |
| 查詢本校圖書館目錄 查詢臺灣博碩士論文知識加值系統 勘誤回報 |
校內：2028-08-27公開校外：2028-08-27公開