本論文利用準分子雷射微細加工技術製作任意曲面形貌之三維微結構，主要研究重點是利用「準分子雷射行星式加工法」與「改良式孔洞面積法」製作軸對稱以及非軸對稱之三維微結構，並將其應用於折射式光學微透鏡，證明此二種準分子雷射加工法應用於製作折射式光學微透鏡之可行性與精確度。
　　
　　在「準分子雷射行星式加工法」方面，利用特殊的光罩設計及工件的自轉與公轉，使雷射投射在工件上的呈現三維的連續分布，快速且精確地製作軸對稱非球面微透鏡與微型光纖耦合透鏡，實驗結果顯示此加工法所製作之微透鏡具有表面形貌控制性佳、表面粗糙度僅約10nm、光學特性良好等優點，證明此準分子雷射行星式加工法應用於製作折射式微光學元件之發展潛力。
　　
　　於「改良式孔洞面積法」方面，藉由改變雷射加工時的雷射加工路徑參數，證明採用高斯分佈格點之改良式孔洞面積法可有效改善一般採整齊格點法之孔洞面積法表面粗糙度較大的缺點，但此一改良式孔洞面積法仍具有表面形貌加工精度較差的缺點，若能改善此一問題，本加工法將可成功應用於製作雷射二極體準直透鏡等非軸對稱微光學元件。

　　This　study　applies　excimer　laser　micro-machining　technology　for　manufacturing　3D　arbitrary　microstructures.　Two　kinds　of　excimer　laser　machining　technology　are　presented　to　fabricating　microlenses　in　order　to　verify　the　feasibility　and　accuracy　of　these　excimer　laser　micromachining　processes.

　　First,　“Excimer　Laser　Planetary　Contour　Scanning　Method”　is　applied　to　manufacturing　axially　symmetrical　aspheric　microlenses.　The　basic　idea　is　based　on　a　specific　mask　design　method　and　a　sample　rotation　method　which　includes　both　self-spinning　and　circular　revolving　to　provide　a　probability　function　of　laser　machining.　The　probability　function　created　by　the　planetary　scanning　assures　a　continuous,　smooth,　and　precise　surface　profile　to　the　machined　microstructures.　The　surface　profiles　are　measured　and　compared　with　their　theoretical　counterparts.　Excellent　agreements　both　in　profile　shapes　and　dimensions　are　achieved.　The　machining　profile　accuracy　and　surface　smoothness　of　this　proposed　micromachining　method　show　great　potentials　in　fabricating　micro-optic　components　such　as　aspheric　microlenses　or　microlens　arrays.

　　In　order　to　fabricate　non-axially　symmetrical　microstructures,　the　excimer　laser　machining　method　known　as　“Hole　Area　Modulation　Method”　is　presented　and　modified　to　realize　this　purpose.　This　thesis　modifies　parameters　of　machining　contour　paths　and　mask　design　process　to　minimize　the　roughness　of　machined　microstructures.　The　experimental　results　show　that　this　“Modified　Hole　Area　Modulation　Method”　could　improve　the　roughness　of　machined　microstructures　successfully　but　still　has　some　problem　on　machining　accuracy.　By　overcoming　these　drawbacks,　this　machining　method　must　have　great　potentials　in　manufacturing　non-axially　symmetrical　micro-optical　devices　such　as　laser　diode　collimator　in　the　future.

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