簡易檢索 / 詳目顯示
| 研究生： |
許仕炫 HSU, Shih-hsuan |
|---|---|
| 論文名稱： |
具有ZrO₂種子層之超晶格鐵電FinFET之奈米製程與尺寸縮放研究 Nanofabrication of Superlattice ferroelectric FinFET with ZrO₂ seed layer and scaling investigation |
| 指導教授： |
盧達生
Lu, Darsen |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 奈米積體電路工程碩士博士學位學程 MS Degree/Ph.D. Program on Nano-Integrated-Circuit Engineering |
| 論文出版年： | 2026 |
| 畢業學年度： | 114 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 74 |
| 相關次數： | 點閱：6 下載：0 |
| 分享至: |
| 查詢本校圖書館目錄 查詢臺灣博碩士論文知識加值系統 勘誤回報 |