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研究生：	周政衛 Jhou, Jheng-wei
論文名稱：	TFT-LCD Mura缺陷自動化光學檢測 Automatic Optical Inspection on Mura defect of TFT-LCD
指導教授：	陳響亮 Chen, Shang-Liang
學位類別：	碩士 Master
系所名稱：	電機資訊學院 - 製造工程研究所 Institute of Manufacturing Engineering
論文出版年：	2006
畢業學年度：	94
語文別：	中文
論文頁數：	54
中文關鍵詞：	國際半導體材料與設備聯盟、液晶顯示器、缺陷、自動對焦、自動化光學檢測
外文關鍵詞：	TFT-LCD, defect, AOI, Mura, Auto focus
相關次數：	點閱：75 下載：11
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檢測自動化技術與設備中，自動化光學檢測(Automatic Optical Inspection, AOI)扮演著關鍵的角色，可以取代人工檢測與減少生產成本，達成高速高精度的檢測，進而大幅提昇生產的品質與產能，本研究整合機電系統、取像系統與檢測軟體，建立Mura缺陷自動化光學檢測系統，其中檢測軟體實現多項式背景估計方法與國際半導體材料與設備聯盟(SEMI)所訂定之評價標準，並應用自動對焦理論確保影像品質，此系統在實驗驗證階段具有100%正確率，45～55秒的檢測時間，並有線上檢測與離線檢測之功能選擇。

Automatic optical inspection plays a key role in inspection of automations and equipments. It can replace manual inspect, reduce the production costs, and achieve high speed and high precision with the inspection. Increasing the quality and efficiency of production materially. Mura defect automatic optical inspection system combines with electro-mechanical Systems, image acquisition systems and inspection software. In inspection software, it implement the polynomial background surface estimation method, use the standard which was defined by SEMI, and apply auto-focus method to ensure the quality of image. This system has 100% accuracy and spent 45~55 seconds in the experimental stage. There are two options can be selected, in-line or off-line inspection.

封面     　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　	I
中文摘要	　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　II
Abstract	　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　III
誌謝	　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　IV
目錄	　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　V
圖目錄	　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 VII
表目錄	　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 IX
第一章  緒論	                                           1
1.1  前言	                                              1
1.2  研究動機	                                    2
1.3  研究目的	                                    3
1.4  文獻探討	                                    4
1.5  論文架構	                                    6
第二章  原理與方法	                                7
2.1  多項式背景估計之理論回顧	                    7 
2.1.1  求解二元多項式之係數	                      7
2.1.2  多項式背景估計	                                 8
2.2  Mura評價方法回顧	                                  9
2.3  明顯化SMD銳利度函數	                        11
2.4  Mura檢測方法演算流程	                        13
2.4.1  視窗處理單元	                                  14
2.4.2  分析與頻價處理單元	                       21
第三章  Mura缺陷自動化光學檢測架構	                  26
第四章  實驗結果與討論	                              29
4.1  自動對焦系統實驗結果與討論	                   29
4.1.1  MSMD與SMD函數比較	                           29
4.1.2  搜尋對焦點步驟	                                 32
4.2  SEMU指標閥值討論	                                  33
4.3  參數調整對於Mura缺陷檢測的影響討論	         35
4.3.1  視窗大小改變對於Mura缺陷檢測的影響	         36
4.3.2  離異閥值改變對於Mura缺陷檢測的影響	         41
4.3.3  Niblack’s閥值分割設定對於Mura缺陷檢測的影響	45
4.4  檢測正確率與檢測速度評估	                    47
第五章  結論與建議	                                50
5.1  結論	                                              50
5.2  建議	                                              51
參考文獻	                                            53

                                    

參考文獻
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[2]Jae Y. Lee, Suk I. Yoo, ” Automatic Detection of Region-Mura Defect in TFT-LCD”, IEICE TRANC. INF. & SYST, pp. 3-5, 2004.

[3]張瑞顯, ”應用線性迴歸診斷法於液晶顯示器Mura缺陷自動化檢測之設計與實現”, 碩士論文, 國立成功大學, 2005.

[4]Yumi Mori, Kohsei Tanahashi, Ryoji Yoshitake, Tohuru Tamura, Kiyo Moriguchi, Toru Yoshizawa, Satoshi Tsuji, ”Measurement System and Defect Method of mura in TFT-LCD”, IDMC2003, pp. 295-298, 2003.

[5]Poo Aun Neow, Marcelo H. Ang Jr, ”Practical Issues In Pixle-Base Autofocusing For Machine Vision”, IEEE International Conference on Robotics and Automation, ICRA, 3, pp. 2791-2796, 2001.

[6]Kharitononko, X.zhang, ”Digital Focus Detector For Mobile Video Communicators”, IEEE Transactions on Consumer Electronics, 46(1), pp. 237-240, 2000.

[7]Jia Jia Guo, Bor-Hann Huang, Kerson Wang, Chun-Hsia Chen, ”Development of Mura Generator System”, IDMC2004, pp. 441-444, 2004.

[8]Chun-Chih Chen, Sheue-Ling D. Hwang, Chao-Hua Wen, Chung-Cheng Yeh, ”Develoment of A JND Model on Mura Detection”, IDMC2005, pp. 823-825, 2005.

[9]Véronique Gibour, Pierre Boher, Thireey Leroux, Jia Jia Guo, Bor-Hann Huang, Kerson Wang, Chun-Hsia Chen, ”Roubustness of Automated Mura Inspection Versus Measurement Condition”, IDMC2005, pp. 403-406, 2005.

[10] Rafael C. Gonzalez,”Digital Image Processign 2nd”, Prentice Hall, 2002 .

校內：2011-08-14公開
校外：2011-08-14公開

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