| 研究生: |
林晃業 Lin, Huang-Ya |
|---|---|
| 論文名稱: |
微米級結構射出成型之研究 Study of components with micron features |
| 指導教授: |
楊文彬
Young, Wen-Bin |
| 學位類別: |
碩士 Master |
| 系所名稱: |
工學院 - 航空太空工程學系 Department of Aeronautics & Astronautics |
| 論文出版年: | 2005 |
| 畢業學年度: | 93 |
| 語文別: | 中文 |
| 論文頁數: | 103 |
| 中文關鍵詞: | 光微影 、UV-LIGA 、微電鑄成型 、熔膠溫度 、空氣封包 、射出成型 |
| 外文關鍵詞: | Lithography, Injection Molding, UV-LIGA, Air Trap, Melt Temperature, Electroforming |
| 相關次數: | 點閱:124 下載:6 |
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射出成型為製造業重要的生產過程,技術成熟、成本低且生產快,隨著現行產品追求輕薄短小以及微米奈米級的應用,傳統的射出成型技術也須跟著調整,本研究是採用UV-LIGA製程,利用光微影製程製作出微米級結構物,配合微電鑄成型技術,翻製具有微結構物的鎳金屬模仁,利用此模仁進行射出成型實驗,主要研究是探討在整個射出成形製程中,每一項射出參數對於微結構物充填的影響,並找出每一項參數對於微結構物充填高度的趨勢,期望能找出最佳的充填參數,完全複製微米結構物。本研究結果顯示,微米級結構物的充填中,模溫、熔膠溫度以及壓力的影響最大,需要在高模溫高壓下才能將塑料充填進微米級結構物中,而本實驗採傳統模具,無抽真空設計無法解決空氣封包問題,可藉由射出速度的調整改善,最後結果可製作出具有線寬4μm高度3.4μm線結構物之成品。
Injection molding is an important fabrication process for polymer plastics. It needs to be adjusted for modern products focusing on light weight, thin thickness, small volume and micro feature. This research uses the LIGA-LIKE lithography process to define the micro feature and the micro electroforming to form the mold insert with replicated micro feature. The mold insert is used in the experiment of injection molding. The effects of the injection molding process parameters on filling of microstructrures will be investigated. The scope is to obtain the feasible process parameters to replicate microstructrures completely. The result shows that the effects of mold temperature, melt temperature and packing pressure are more important on microstructrue filling. High temperature reduces viscosity of the plastics so that the plastic can fill the microstructrures easily. High packing pressure improves the plastic filling the microstructrures before the plastic solidification. However, the microstructures are difficult to be filled completely because of the problem of the air traps. The molding products with feature of 4μm line width and 3.4μm height microstructure can be achieved.
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[10]http://www.ndl.gov.tw/icfab/chinese1/Process/05-Lithography/m3-5-6.htm
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[15] http://nanocenter.nchu.edu.tw/afm/afm_1.html
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