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| 研究生： |
陳宇昊 Chen, Yu-Hao |
|---|---|
| 論文名稱： |
基於反應曲面法使用飛秒雷射於矽通孔製程參數之最佳化研究 Optimization of Femtosecond Laser Parameters for Through-silicon Via Based on Response Surface Methodology |
| 指導教授： |
黃聖杰
Hwang, Sheng-Jye |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 機械工程學系 Department of Mechanical Engineering |
| 論文出版年： | 2025 |
| 畢業學年度： | 113 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 208 |
| 相關次數： | 點閱：5 下載：0 |
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校內：2030-08-25公開校外：2030-08-25公開