微機電系統之研究需在特殊之實驗室進行，無法於一般的建築物內進行研究。微機電實驗室需要無塵室及監控系統、純水系統、製程冷卻水系統、電力系統、氣體系統、廢水、廢液以及廢氣系統，因此需要有別於一般實驗室之規劃及建置管理，本研究將針對下列重要課題之管理進行研究：
(1) 實驗室規劃管理研究：針對從實驗室之功能與目標以規劃實驗室之規模；瞭解簽訂工程契約應包括之項目，例如發包及招標。
(2) 無塵室及各系統規劃研究：就無塵室及各系統規劃，整理出各系統規劃之專家系統圖，並將系統各設備安裝相關流程及設備實物相關照片整理，提供使用者作為參考。
(3) 建置工程管理研究：包括全系統工程、無塵室工程、純水系統工程、製程冷卻水系統工程、電力系統工程、氣體系統工程、廢氣系統工程。各工程施工管理之要求以及完成後之檢驗及測試，進行建置工程管理之研究。
(4) 交付運轉管理研究：包括驗收管理、未驗收管理、運轉管理。建置工程完成後，循序驗收工程或未驗收工程的處理方式。最後將交付之微機電實驗室運轉成功，確保廠務系統之有效供應，以提升未來微機電實驗室運轉之穩定並有助於實驗成果之提升。
本論文利用專家系統的概念，將一個複雜的實驗室建置工程之管理簡化成圖表，並提供微機電實驗室的建置工程之管理。從無塵室之規劃開始，到完成一個微機電實驗室的建置管理，最後交付運轉管理，以協助使用者建置一個良好的微機電系統實驗室。

It is essential that MEMS research must be conducted in a special laboratory, not in general building facility. Other than general laboratory engineering planning and construction management, MEMS laboratory shall be equipped with a clean room facility, a monitoring system, a DI water system, a process cooling water system, an electricity system, a gas system, a waste water system, a waste chemical system, and a gas exhaust system etc. The current study therefore focuses on the following management topics.
1. Research on laboratory engineering and construction management
Based on the functions and objectives of the MEMS laboratory, one has to manage the size and functionality of the laboratory. Thus it is essential to understand the scope of work and bidding procedures.
2. Research on engineering of clean room facility and related system
Expert system will be used in accordance with the clean room and its sub-systems. The equipment, its assembling flow path and photos will be used to provide reference for potential users.
3. Research on construction management
Systems including clean room, DI water, process cooling water, electricity, process gas, exhaust gas will be investigated.
4. Research on system “check and acceptance” and hand over for operation
Check and acceptance procedure will be explored to assure successful operation of MEMS research and optimize the system performance.
This thesis shall start with laboratory engineering, through construction management of the facility, then to the system hand over and operation. It provides a protocol to set up the MEMS construction program. By using the expert management concept, a complex MEMS laboratory construction management can be achieved.

[1] 蕭飛賓，「國科會南部微系統研究中心第二期計畫書」，國科會南部微系統研究中心，民國九十年四月三日，頁2
[2] 吳清沂、鍾震桂，「微機電系統技術簡介」，科儀新知，第十八卷第三期，行政院國家科學委員會—精密儀器發展中心，民國八十五年十二月，頁26
[3] 微機電系統設計與微製造實驗室網站
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[6] 國科會南區微系統實驗室網站
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[8] 國科會中區微系統實驗室網http://vlsi2.ee.nthu.edu.tw/%7Ensc-cmrc/
[9] 工研院電子所微系統中心網站
http://www.itri.org.tw/mems/
[10] 國家毫微米實驗室（新竹）網站
http://www.ndl.gov.tw/cindex.asp
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[18] 李偉文，「半導體廠房採購發包與施工規劃之研究—以新竹科學工業園區半導體相關廠房為例」，臺灣大學土木工程所碩士論文，民國八十九年
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[28] 王伯儉，「工程人員契約法律實務」，永然文化出版，民國八十七年九月，頁157~158
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[41] 顏登通，「潔淨室設計與管理」，全華科技圖書，民國八十九年六月，頁7-4~7-7
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[51] 審計法施行細則第六十三條
[52] 民法第五百零八條
[53] 民法第四百九十八條
[54] 民法第二百五十條、第二百五十二條
[55] 民法第五百零二條、第五百零三條
[56] 卓聖鵬，「空調設備技術入門」，全華科技圖書，民國八十四年九月，頁197~207
[57] 蔡騰龍，「工業冷卻水處理概論」，正文書局，民國八十二年九月一日，頁87