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| 研究生： |
簡睿呈 Chien, Jui-Cheng |
|---|---|
| 論文名稱： |
使用微波電漿化學氣相沉積法以射頻偏壓增強異質磊晶(100)鑽石於(100)銥薄膜之研究 RF Bias-Enhanced Heteroepitaxial Nucleation of (100) Diamond on (100) Iridium by Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition |
| 指導教授： |
曾永華
Tzeng, Yon-Hua |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 微電子工程研究所 Institute of Microelectronics |
| 論文出版年： | 2025 |
| 畢業學年度： | 113 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 104 |
| 相關次數： | 點閱：35 下載：0 |
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校內：2030-07-16公開校外：2030-07-16公開