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| 研究生： |
徐龍新 Hsu, Lung-Hsin |
|---|---|
| 論文名稱： |
射頻磁控濺鍍法於藍寶石上異質磊晶(100)銥薄膜之優化研究 Optimization of Heteroepitaxial Growth of (100) Iridium on Sapphire by Radio-Frequency Magnetron sputtering |
| 指導教授： |
曾永華
Tzeng, Yon-hua |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 微電子工程研究所 Institute of Microelectronics |
| 論文出版年： | 2025 |
| 畢業學年度： | 113 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 97 |
| 相關次數： | 點閱：16 下載：0 |
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校內：2030-07-01公開校外：2030-07-01公開