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| 研究生： |
陳弘儒 Chen, Hung-Ru |
|---|---|
| 論文名稱： |
以分子動力學搭配ReaxFF勢能模擬銅化學機械研磨在不同研磨液下之奈米磨擦行為 Atomistic mechanisms of Copper CMP in different slurries by Molecular dynamics simulation using ReaxFF reactive force field |
| 指導教授： |
陳鐵城
Chen, Tei-Chen |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 機械工程學系 Department of Mechanical Engineering |
| 論文出版年： | 2021 |
| 畢業學年度： | 109 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 84 |
| 相關次數： | 點閱：59 下載：0 |
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校內：2026-07-29公開校外：2026-07-29公開