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| 研究生： |
林詠澤 Lin, Yong-Ze |
|---|---|
| 論文名稱： |
以磁控濺鍍法沉積氧化鋅錫薄膜及其感測器之研究 Investigation of ZTO Thin Film and Its Sensor Device Fabricated by RF Sputtering |
| 指導教授： |
張守進
Chang, Shoou-Jinn |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
智慧半導體及永續製造學院 - 半導體製程學位學程 Program on Semiconductor Manufacturing Technology |
| 論文出版年： | 2025 |
| 畢業學年度： | 113 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 118 |
| 相關次數： | 點閱：7 下載：0 |
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校內：2030-07-30公開校外：2030-07-30公開