本文以有限元素分析軟體ANSYS Static Structural分析LCD玻璃基板在不同的機械手臂輸送時的撓曲量，並將分析結果與實際情況進行比較後，改造機械手臂的結構，使LCD玻璃基板在輸送的過程中呈現近乎平坦的狀態。
本研究分為兩個部分，首先建立三種機械手臂的分析模型，並在上方放置同等大小的玻璃基板，機械手臂設定成堅固不可彎曲，玻璃基板給予相同的材料參數，並設定上方FFU風機過濾機組所造成的下壓壓力，將分析出來的結果與實際做比較，辨別出ANSYS分析的準確度。其次，將移動空間最小者進行改造手臂，在手臂上均勻加裝小型支撐件，使機械手臂搬運過程中可有效減少玻璃基板撓曲量，取放玻璃基板時可以改善因撓曲量所加大的上下移動範圍，使得同等的載體可以放置更多的玻璃基板。

In this paper, the finite element analysis software ANSYS Static Structural was used to analyze the deflection of the LCD glass substrate when conveyed by different robotic arms. After having compared the analysis results with the actual situation, the structure of the robotic arm was modified to integrate the LCD glass substrate in the process of conveying. This integration resulted in an almost flat state during transportation.
This research is divided into two parts. First, the analysis model based on three types of mechanical arms is developed. Glass substrates of the same size are placed above the arms. The mechanical arms are set to be firm and inflexible. The glass substrates are given the same material parameters. The upper FFU fan filter unit is set, which generates down pressure. One of the purposes of the experiment is to compare the results of the analysis with the actual situation and identify the accuracy of the ANSYS analysis.
Secondly, the arm with the smallest moving space is modified, and small supports are evenly installed on the arm, so that the deflection of the glass substrate can be effectively reduced during the handling of the robotic arm. The deflection due to the amount increase can be improved when picking and placing the glass substrate, the large up and down movement range allowing more glass substrates to be placed on the same carrier.

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