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| 研究生： |
陳奕安 Chen, Yi-An |
|---|---|
| 論文名稱： |
以射頻磁控濺鍍法製備低溫無鉛鈮酸鈉鉀基薄膜與壓電式MEMS高頻三軸加速規之設計 The Deposition of Lead-Free Sodium Potassium Niobate-Based Thin Films Using RF Magnetron Sputtering Method at Low Temperature and Design of MEMS Triaxial Piezoelectric Accelerometers with High Bandwidth |
| 指導教授： |
朱聖緣
Chu, Sheng-Yuan |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
智慧半導體及永續製造學院 - 半導體製程學位學程 Program on Semiconductor Manufacturing Technology |
| 論文出版年： | 2025 |
| 畢業學年度： | 113 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 121 |
| ORCID： | https://orcid.org/0009-0003-0749-228X |
| ResearchGate： | https://www.researchgate.net/profile/Yian-Chen-30 |
| 相關次數： | 點閱：7 下載：0 |
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校內：2030-08-26公開校外：2030-08-26公開