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研究生: 石逸翔
Shih, Yi-Hsiang
論文名稱: 低溫電漿強化化學氣相沉積之石墨烯/銅複合導線製備與應用
Process and Application of Graphene/Copper Composite Interconnects via Low-Temperature Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition
指導教授: 涂維珍
Tu, Wei-Chen
學位類別: 博士
Doctor
系所名稱: 電機資訊學院 - 奈米積體電路工程碩士博士學位學程
MS Degree/Ph.D. Program on Nano-Integrated-Circuit Engineering
論文出版年: 2026
畢業學年度: 114
語文別: 英文
論文頁數: 190
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    2031-07-16公開
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