簡易檢索 / 詳目顯示
| 研究生： |
沈開一 Shen, Kai-Yi |
|---|---|
| 論文名稱： |
微波電漿化學氣相沉積法製備鑽石以及利用TCAD比較鑽石以及碳化矽、氮化鎵、矽之鰭式場效電晶體 MPCVD of Diamond and TCAD evaluation of Diamond FinFET at high temperatures in comparison with SiC，GaN and Si FinFETs |
| 指導教授： |
曾永華
Tzeng, Yon-Hua |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 微電子工程研究所 Institute of Microelectronics |
| 論文出版年： | 2021 |
| 畢業學年度： | 109 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 97 |
| 相關次數： | 點閱：81 下載：0 |
| 分享至: |
| 查詢本校圖書館目錄 查詢臺灣博碩士論文知識加值系統 勘誤回報 |
校內：2026-07-10公開校外：2026-07-10公開