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| 研究生： |
谷揚恩 Guu, Stephen Yang-En |
|---|---|
| 論文名稱： |
石墨膠及C2對於用於BEOL低溫化學氣相沉積鑽石薄膜之影響研究及熱傳導研究 Study of the Effects of Graphite Paste and C2 on Low Temperature CVD Diamond Films and Thermal Conductivity Study for Back End of Line (BEOL) Applications |
| 指導教授： |
曾永華
Tzeng, Yonhua |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 微電子工程研究所 Institute of Microelectronics |
| 論文出版年： | 2023 |
| 畢業學年度： | 112 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 116 |
| 相關次數： | 點閱：54 下載：0 |
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校內：2028-12-18公開校外：2028-12-18公開