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| 研究生： |
林莆程 Lin, Fu-Cheng |
|---|---|
| 論文名稱： |
低溫（450°C）電漿輔助化學氣相沉積鑽石薄膜之研究 Study on Diamond Thin Films Deposited by Low-Temperature (450°C) Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition |
| 指導教授： |
曾永華
Tzeng, Yon-Hua |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 微電子工程研究所 Institute of Microelectronics |
| 論文出版年： | 2024 |
| 畢業學年度： | 112 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 94 |
| 相關次數： | 點閱：44 下載：0 |
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校內：2029-07-30公開校外：2029-07-30公開