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研究生: 李文彰
Lee, Wen-Chang
論文名稱: 利用田口法優化ALE製程氣體流場模擬研究
A Study on Optimizing Gas Flow Field Simulation in ALE Processes Using the Taguchi Method
指導教授: 潘文峰
Pan, Wen-Fung
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 工學院 - 工程科學系碩士在職專班
Department of Engineering Science (on the job class)
論文出版年: 2024
畢業學年度: 112
語文別: 中文
論文頁數: 53
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    校外:2029-08-27公開
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