簡易檢索 / 詳目顯示
| 研究生： |
康絜 Kang, Jie |
|---|---|
| 論文名稱： |
抑制晶圓邊緣過蝕刻之聚焦環參數配置與操作壓力最佳化研究 Optimization of Focus Ring Configuration and Operating Pressure for Suppressing Wafer Edge Over-Etching |
| 指導教授： |
涂維珍
Tu, Wei-Chen |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 奈米積體電路工程碩士博士學位學程 MS Degree/Ph.D. Program on Nano-Integrated-Circuit Engineering |
| 論文出版年： | 2026 |
| 畢業學年度： | 114 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 151 |
| 相關次數： | 點閱：31 下載：0 |
| 分享至: |
| 查詢本校圖書館目錄 查詢臺灣博碩士論文知識加值系統 勘誤回報 |
2031-07-15公開