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| 研究生： |
楊詠筑 Yang, Yung-Chu |
|---|---|
| 論文名稱： |
以溶膠凝膠法製備低熱膨脹係數Polybenzoxazole-Silica光阻材料之探討 Preparation of Polybenzoxazole-Silica Photoresists via Sol-Gel Method with Low Thermal Expansion Coefficient |
| 指導教授： |
郭昌恕
Kuo, Chang-Shu 許聯崇 Hsu, Lien-Chung |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學及工程學系 Department of Materials Science and Engineering |
| 論文出版年： | 2025 |
| 畢業學年度： | 113 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 142 |
| 相關次數： | 點閱：18 下載：0 |
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校內：2030-06-24公開校外：2030-06-24公開