水資源議題愈來愈重要，國內高科技廠近年陸續投入人力與技術，希望提高水資源使用效率例如提高水回收率，減少對自來水的依賴。然而科學園區目前只規定製程回收率、全廠回收率、全廠排放率三個水量指標，及廠房排放廢水水質標準。此等要求對於公司及廠房的管理有所不足，不能代表整體的用水成效或環境績效。如何整體考量水資源，利用製程回收水並有效管理，是一重要課題。
本研究探討半導體廠房水資源整合與環境績效指標，分析廠房用水，考量自來水、製程廢水、回收水、排放污水等，提出水資源使用整合方向，訂定相關環境績效指標，衡量水資源整合績效，使水資源使用更有效率。
水資源績效架構包括輸入、製程用水、次級用水、輸出四部分，共19個指標，其中水量指標有13個。研究發現廠房輸入、輸出端的水量指標如自來水量和總排放廢水量，和產能直接相關，可用L/cm2為單位，較易和相關規範或其他廠房比較績效。其餘指標和水系統操作、技術較相關，因此不同廠房會有差異，例如製程回收率、純水系統造水率，可和自來水量或其他用水量相比，以百分比為單位。
水質指標有6個，直接關係著良率和回收水多寡與水質者為重點，例如超純水、廢水處理水質指標。本研究找出其重要的水質項目，分析效益並給分，但像超純水水質，花更多成本使水質項目超過標準並無實質效益，因此只須符合標準即可。水量、水質指標依其節水量大小、重要性、有無相關規定要求等給予不同權重，彙總得整體指標分數為90、87分，兩者平均為89分，因此案例半導體廠整體水資源使用績效佳。
本研究依不同類別，發展出更多水環境指標，並探討各指標間關聯，組成參數的合理性及半導體廠房平均績效應為多少，以較完整的評估各用水單元的績效。然而由於資料收集不易，某些指標在評分標準可再精進。

This study analyzed water usage of semiconductor plants, including tap water, wastewater process, recycled water, and wastewater discharge. Besides, it addressed the integration of water usage. In order to make water usage more efficient, this study formulated a water-related framework and environmental indicators to measure the overall water performance. The framework incorporates important water quantity and quality issues to consist of 19 indicators in system input, process, and output stages.

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