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| 研究生： |
黃萱婷 Huang, Hsuan-Ting |
|---|---|
| 論文名稱： |
MOCVD 載盤機械性質檢測與結構可靠度評估 Mechanical Property Characterization and Structural Integrity Assessment of SiC-Coated Graphite Composite Structure in Metal-Organic Chemical Vapor Deposition(MOCVD) Systems |
| 指導教授： |
陳國聲
Chen, Kuo-Shen |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 機械工程學系 Department of Mechanical Engineering |
| 論文出版年： | 2023 |
| 畢業學年度： | 111 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 141 |
| 相關次數： | 點閱：35 下載：0 |
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校內：2028-08-24公開校外：2028-08-24公開