本研究主要應用投入產出結合生命週期評估法（IO-LCA），探討台灣半導體業於民國90、93、95三年生產製造對環境的衝擊。使用生命週期評估軟體SimaPro 7.1中之Eco-indicator 99與IMPACT 2002+ 兩種評估模式作為衝擊量化的方法，並比較結果之差異。在碳足跡方面，首先利用IO-LCA量化IC製造業於民國90、93、95三年之碳足跡，爾後，以Process-LCA評估台灣半導體製造業三間個案廠商之製程碳排放，並運用蒙地卡羅法進行參數不確定性分析。最後，比較IO-LCA與Process-LCA評估結果之差異。期能提供IC業因應溫室效應議題及邁向永續發展之方向。
IO-LCA研究結果顯示，Eco-Indicator 99各年度常態化以天然資源的環境負荷最為嚴重，其次依序為人體健康及生態品質；IMPACT 2002+ 則以人體健康損害最嚴重，其次為生態系統品質、天然資源與氣候變遷。在模式比較部分，兩種模式在損害評估結果差異較大的為致癌物、生態毒性、氣候變遷與化石燃料等4項衝擊，而在評估損害之產業來源時，兩種模式之結果頗為一致，皆可提供決策者了解未來需改善之主要項目。
在碳足跡方面，IO-LCA評估各年度溫室氣體排放結果皆以Scope 3最大，其次依序為Scope 1與Scope 2。在個案研究部分，A、B、C三廠家的製程碳排放主要來自電力與PFCs，總不確定性排序為C＞A＞B，而其不確定性來源主要參數為電力、SF6與PFCs。另外，兩種方法比較部分，顯示無論Scope 1 或Scope 2，IO-LCA之環境衝擊評估大致皆高於Process-LCA之結果。

This study used Input-Output Life Cycle Assessment (IO-LCA) to analyze major environmental impacts of the semiconductor industry in Taiwan in 2001, 2004 and 2006. We used SimaPro 7.1 with two models, Eco-indicator 99 and IMPACT 2002+, to evaluate and compare the differences between these two models. For Carbon Footprint analysis, we used IO-LCA to quantify IC manufacturing industry first and use the Process-LCA and Monte Carlo uncertainty analysis to assess their carbon emissions for three cases of Taiwan semiconductor manufacturing firms. Finally, this study compared the differences between IO-LCA and Process-LCA results. The aim is hoped to enable IC industry to cope with global warming issues and the direction towards sustainable development.
IO-LCA, normalization results showed that the resources impact was the most serious category, followed by human health and ecosystem quality for each year in the study of Eco-Indicator 99; while the most serious damage was human health, followed by ecosystem quality, resources and climate change for the study of IMPACT 2002+ program. The differences between two models in the damage assessment were the carcinogens, ecological toxicity, climate change and fossil fuels. However, results of two models were quite consistent when assessing the damage caused by industrial sources because both programs were able to provide decision-makers with valuable information to improve the main categories in the future.
In terms of carbon footprint analysis, according to the IO-LCA assessment results, most greenhouse gas emissions were come from the Scope 3, followed by Scope 1 and Scope 2 sources. From three case studies, the carbon emissions of the product process were mainly from electricity use and PFCs for three of the studied factories, the total uncertainty were ranked at the order of plant C > plant A > plant B, and its main sources of uncertainty parameters comparing were electricity, SF6 and PFCs. In addition, emissions from Scope 1 and Scope 2, it indicated that IO-LCA results were higher than Process-LCA in general.

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74.薩歐、羅正忠、張鼎張，（2007），「半導體製程技術導論」，學銘圖書有限公司。
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三、網站部分
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2.MSDS下載，三福化工股份有限公司，
http://www.sfchem.com.tw/cht/product/msds.htm
3.世界企業永續發展協會（WBCSD），http://www.wbcsd.org/templates/TemplateWBCSD5/layout.asp?MenuID=1
4.台灣半導體產業協會，http://www.tsia.org.tw/
5.94~97年我國CO2電力排放係數，台灣電力公司， http://www.taipower.com.tw/
6.97年每度用水排放CO2約當量，台灣自來水公司，http://www.water.gov.tw/04service/ser_c_main7.asp
7.99年燃料燃燒及電力使用之二氧化碳排放係數，經濟部能源局，http://verity.erl.itri.org.tw/EIGIC/knowledge_9_detail.aspx?PostID=366
8.電子工程專輯，http://www.eettaiwan.com/
9.經濟部工業局，http://www.moeaidb.gov.tw/
10.聯合國環境規劃署，http://www.unep.org/