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| 研究生： |
許芫綸 Xu, Yuan-Lun |
|---|---|
| 論文名稱： |
以溫度波分析法探究磁控濺鍍沉積之氮化矽薄膜的熱傳導係數 Exploring the Thermal Conductivity of Silicon Nitride Thin Films Deposited by Magnetron Sputtering with Temperature Wave Analysis Method |
| 指導教授： |
溫昌達
Wen, Chang-Da |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 機械工程學系 Department of Mechanical Engineering |
| 論文出版年： | 2024 |
| 畢業學年度： | 112 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 115 |
| 相關次數： | 點閱：21 下載：0 |
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校內：2029-02-14公開校外：2029-02-14公開