半導體近十幾年來蓬勃發展，其高技術和高資金密集，對於製程設備而言，無論是產能、良率，甚至於製程安全，或是設備的故障診斷，更顯得重要。早期製程設備的故障診斷，是由維修工程師根據設備運轉監控系統傳來的異常警報，以及利用自己的知識和診斷經驗，進行分辨判斷故障發生的原因，提出排除故障的方法與策略，但對於半導體業而言，其高成本的投資，再加上風險高，設備的複雜度提高，使得現場工程師對設備迅速進行故障診斷要求更高。因此本文旦有異常狀況發生時，廠務監控系統將會適時的發出警報，並以圖形以廠務監控系統(FMCS: Facility Management Control System) 為基礎，建立一個理想的警報雛形專家系統，而以廢氣處理系統(AAS: Air Abatement System) 為例，如果利用專家系統，擷取資深工程師的運轉經驗和相關資料來建立知識庫，再使用推理機來進行推理，一介面表示消除此異常狀況的方法，以減少在操作判斷時所可能犯下的錯誤，如此將會減少人力及物力上的損失，提供廠務工程師能儘早進行系統故障診斷及排除故障因素的可靠工具，減少停機待修的時間，可提高生產效率，降低生產風險。

　　Technological advancement and highly intensive capital investment within the semi-conductor industries in the past decade have meant that productivity, yield, process safety, and diagnosis of equipment failures in the process are very important. Among these factors, the fault diagnosis of equipment is especially critical because timely correction of errors will lead to higher productivity, yield and safety. Previously, maintenance engineers judged from alarm status of the control monitoring systems, and their own knowledge, experience to identify the causes, then suggest the preventative strategies and actions. Nowadays, more intensive capital investment, higher risk, and increasingly more complex equipment have raised the industry standard to demand an even faster response in the failure diagnosis. This paper, therefore, attempts to construct a prototype of alarm expert system based on FMCS (Facility Management Control System), while using AAS (Air Abatement System) as an example. This expert system operates according to the inference based on a knowledge base consisting of senior engineers’ operating experiences and relevant information. Once the irregularity happens, FMCS will issue a timely warning and show the corrective procedures by the graphic displays. This system minimizes the judgment errors, manpower and material losses, while enabling factory engineers to diagnose errors quickly and reliably. As a result, with downtime minimized, yield can be enhanced and risk reduced.

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