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| 研究生： |
蔡建威 Tsai, Jian-Wei |
|---|---|
| 論文名稱： |
915MHz微波電漿化學氣相沉積法於(100)銥薄膜上進行直流偏壓異質磊晶(100)鑽石之研究 DC Bias Enhanced Heteroepitaxial Nucleation of (100) Diamond on (100) Iridium by 915MHz Microwave Plasma CVD |
| 指導教授： |
曾永華
Tzeng, Yon-Hua |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 微電子工程研究所 Institute of Microelectronics |
| 論文出版年： | 2025 |
| 畢業學年度： | 113 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 79 |
| 相關次數： | 點閱：16 下載：0 |
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校內：2030-07-16公開校外：2030-07-16公開