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| 研究生： |
王良嘉 Wang, Liang-Jia |
|---|---|
| 論文名稱： |
濺鍍Ti-7.5Mo合金薄膜應用在電容式微機電壓力感測器之潛力 Potential Assessment of Sputtered Ti-7.5Mo Alloy Thin Film for Capacitive MEMS Pressure Sensor Application |
| 指導教授： |
朱建平
Ju, Chien-Ping 陳瑾惠 Chern, Jiin-Huey |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學及工程學系 Department of Materials Science and Engineering |
| 論文出版年： | 2023 |
| 畢業學年度： | 111 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 84 |
| 相關次數： | 點閱：76 下載：0 |
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校內：2028-08-03公開校外：2028-08-03公開